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产品与解决方案

电池片硅片自动化设备

TCO返工片清洗设备
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TCO返工片清洗设备

特点描述

臭氧清洗工艺，臭氧浓度≥40ppm
全自动生产，工艺配方自由设置
全自动补加，一键洗槽配液；

规格书

技术性能

  • 产能：≥4000片/小时(每篮116片整片，4篮/槽)
  • 碎片率<0.5‰
  • 设备Uptime:≥93%;

 

技术参数

清洗流程: O3-Clean→O3-Clean→DHF→DRY

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