产品与解决方案

电池片硅片自动化设备

HJT 硅片管式吸杂前清洗设备-GW级

特点描述

高效节能的烘干系统;
臭氧水洗采用常压大流量混合,确保臭氧混合有效性;
冷/热水慢提拉工艺,更宽的工艺窗口;
高效过滤与初效过滤相结合,保证设备内更高的洁净度。

技术性能

  • 设备产能>32000片/小时(每篮232片半片)(1.2GW@210半片、1GW@182半片);
  • 碎片率<0.3‰;
  • 反射率>40%,单片抛光均匀性<1%,片间抛光均匀性<1%;
  • 台 阶 宽 度 大 于 1 5 um ;
  • 设备Uptime:≥97%;
  • 设备臭 氧 水 浓 度 > 4 0 ppm ;
  • 设备产品良率>99.9%。

 

技术参数

清洗流程: O3-Clean→SDE→O3-Clean→DHF→DRY

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