特点描述
进液匀流结合压力腔与多层匀流板组成快速平稳的布液系统; 自补偿动态平衡废气排风系统,提高废气排风高效性; 派单式手臂调度系统,实现生产工艺柔性化; 工业热水机采用纯石英红外加热方式,确保无金属离子析出; 酸碱区域采用自动闸门隔离,解决气体串流现象; 烘干区采用化学过滤主动新风系统,保证O3气体浓度<10ppb.
技术性能
技术参数
清洗流程: O3-Clean→SDE→PreCln→TEX→Post1→CP ( →Post2)→DHF→DRY